琳得科LINTEC 高速響應質量控制器流量計

琳得科LINTEC 高速響應質量控制器流量計 MC-7000C
池田屋實業(yè)優(yōu)勢供應，并提供報價圖片

更新時間：2025-02-14
產品型號：MC-7000C
廠商性質：經銷商
訪問量：106

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產品詳情

琳得科LINTEC 高速響應質量控制器流量計 MC-7000C

池田屋實業(yè)(深圳)有限公司成立于2015年，位于廣東省深圳市，是一家從事中日貿易的企業(yè)。

公司經過多年的發(fā)展，已整合多方海外廠商渠道，有穩(wěn)定的合作關系，為企業(yè)提供售賣、維修、售后等一系列節(jié)能降本的服務。

池田屋主要經營日本科學儀器設備、實驗室儀器、各類檢測儀器、測量儀器、食品設備、光學設備、精密傳感器等各類工業(yè)流通產品。

公司擁有專業(yè)的銷售團隊、技術團隊、*的管理團隊，通過全體員工的不懈努力，憑借在工業(yè)品領域的專業(yè)水平和成熟技術，

服務于電子消費類、半導體，液晶光電，汽車業(yè)、造船業(yè)、地鐵、等專業(yè)用戶里的世界500強企業(yè)。

高速響應質量流量控制器

響應時間為 200 毫秒的超高速質量流量控制器。

熱傳感器實現(xiàn)100毫秒（典型值）的高速流量控制。 Lintec 的非接觸式熱流量傳感器和壓電控制閥可以實現(xiàn)腐蝕性氣體的超高速流量控制。

流量精度高，可達±1.0%SP，數(shù)字通信方式可選擇DeviceNet或EtherCAT。

使用示例

高速蝕刻工藝

在半導體制造過程中，需要在實現(xiàn)微型化的同時提高產量。對于控制反應氣體流速的質量流量控制器而言，縮短流量控制啟動（上升）時間的需求也日益增加。超高速質量流量控制器[MC-7000]是流量傳感器與被測氣體不接觸的非接觸式熱式流量傳感器，實現(xiàn)了200毫秒的超高速響應。由于是非接觸式，因此可以對腐蝕性氣體的流量測量進行高速流量控制。

規(guī)格

_溫度	_最小壓差	_最大壓差	_準確性	_控制范圍	_{最小滿量程}	_{最大滿量程}	_海豹
_5~50℃	_50千帕	_300千帕	_{±1%標準差}	_{2～100%滿量程}	_5SCCM	_20秒	_金