等離子體光譜儀由激發(fā)源(X射線管)和探測系統(tǒng)構(gòu)成。X射線管產(chǎn)生入射X射線(一次X射線)，激發(fā)被測樣品。受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。探測系統(tǒng)測量這些放射出來的二次X射線的能量及數(shù)量。然后，儀器軟件將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量。
 

　　等離子體光譜儀根據(jù)各元素的特征X射線的強(qiáng)度，也可以獲得各元素的含量信息。近年來，在各行業(yè)應(yīng)用范圍不斷拓展，已成為一種廣泛應(yīng)用于冶金、地質(zhì)、有色、建材、商檢、環(huán)保、衛(wèi)生等各個(gè)領(lǐng)域，特別是在RoHS檢測領(lǐng)域應(yīng)用得醉多也醉廣泛。大多數(shù)分析元素均可用其進(jìn)行分析，可分析固體、粉末、熔珠、液體等樣品，分析范圍為Be到U。并且具有分析速度快、測量范圍寬、干擾小的特點(diǎn)。
 

　　獲取方法是檢測器探測透過樣品后帶有信息的干涉光，經(jīng)過信號處理后獲取譜圖。干涉光的產(chǎn)生是通過光源發(fā)射出的入射到光束分裂器(類似半反半透鏡)上，將分成兩束光分別到定鏡與動鏡上。由于動鏡是在一定距離范圍內(nèi)勻速運(yùn)動的，因此兩束光形成光程差，在返回分束器的時(shí)產(chǎn)生干涉。
 

　　等離子體光譜儀由燈源、光闌、干涉儀、樣品室、檢測器以及各種反射鏡、數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)等組成，樣品室的體積應(yīng)盡量大。應(yīng)能安裝各種小的附件，如各種衰減全反射(ATR)附件、漫反射附件、鏡反射附件等。現(xiàn)等離子體光譜儀普遍能夠?qū)⒍喾N附件制作成智能附件，安裝后可通過軟體智能識別安裝的是哪種附件。